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区域
内容
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100级
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10000级
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100000万级
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温
湿
度
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监测方法
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温湿度计
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温湿度计
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温湿度计
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标准
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温度20~24℃,相对湿度45%~60%
(特殊情况另定)
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温度20~24℃,相对湿度45%~60%
(特殊情况另定)
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温度18~26℃,相对湿度45%~65%
(特殊情况另定)
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测定位置
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洁净室内
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洁净室内
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洁净室内
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测定频次
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2次/班
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2次/班
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2次/班
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压差
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监测方法
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压差计
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压差计
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压差计
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标准
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洁净室与非洁净室之间>10 Pa;洁净室与室外大气压>10 Pa
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洁净室与非洁净室之间>10 Pa;洁净室与室外大气压>10 Pa
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洁净室与非洁净室之间>10 Pa;洁净室与室外大气压>10 Pa
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测定位置
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洁净室及室外
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洁净室及室外
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洁净室内及室外
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测定频次
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2次/班
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2次/班
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2次/班
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风速
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监测方法
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风速计
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风速计
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风速计
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标准
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断面风速≥0.35
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换气次数≥25次
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换气次数≥15次
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测定位置
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室内进风口
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室内进风口
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室内进风口
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测定频次
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1次/月
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1次/月
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1次/月(抽测)
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尘埃粒子
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监测方法
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按照监测SOP
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按照监测SOP
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按照监测SOP
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标准
个/m3
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0.5μm粒子数≤3500
5μm粒子数为0
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0.5μm粒子数≤350000
5μm粒子数≤2000
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0.5μm粒子数≤3500000
5μm粒子数≤20000
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测定位置
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关键操作点
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关键操作点
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关键操作点
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测定频次
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1次/月(抽测)
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1次/月(抽测)
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1次/月(抽测)
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沉
降
菌
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监测方法
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按操作SOP
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按操作SOP
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按操作SOP
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标准
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平均≤1个/皿
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平均≤3个/皿
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平均≤10个/皿
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测定位置
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洁净间
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洁净间
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洁净间
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测定频次
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1次/月
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1次/月
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1次/月(抽测)
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照度
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监测方法
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按操作SOP
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按操作SOP
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按操作SOP
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标准
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关键工序≥300 lx,一般工序≥150 lx
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关键工序≥300 lx,
一般工序≥150 lx
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关键工序≥300 lx,
一般工序≥150 lx
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测定位置
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洁净间
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洁净间
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洁净间
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测定频次
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1次/月(抽测)
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1次/月(抽测)
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1次/月(抽测)
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