文件名:无尘室尘埃粒子检测标准操作规程
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文件编号:XRJS/JFZY/2014
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制定人:
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日期:年月日
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文件类型:工作标准
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审核人:
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日期:年月日
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版次:第一版
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批准人:
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日期:年月日
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备注:
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生效日期:年月日
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洁净度级别
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悬浮粒子最大允许数/立方米
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|||
静态
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动态
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|||
≥0.5μm
|
≥5.0μm
|
≥0.5μm
|
≥5.0μm
|
|
A级
|
3520
|
20
|
3520
|
20
|
B级
|
3520
|
29
|
352000
|
2900
|
C级
|
352000
|
2900
|
3520000
|
29000
|
D级
|
3520000
|
29000
|
不作规定
|
不作规定
|
面积m2
|
洁净度级别
|
||
100
|
10000
|
100000
|
|
<10
≥10<20
≥20<40
≥40<100
≥100<200
≥200<400
≥400<1000
≥1000<2000
2000
|
2~3
4
8
16
40
80
160
400
800
|
2
2
2
4
10
20
40
100
200
|
2
2
2
2
3
6
13
32
63
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注:表中的面积,对于单向流无尘室,是指送风面积,对于非单向流无尘室,是指房间面积。
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洁净度级别
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采样量,升/次
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≥0.5μm
|
≥5μm
|
|
100
10000
100000
300000
|
5.66
2.83
2.83
|
_
8.5
8.5
|
采样数L
|
2
|
3
|
4
|
5
|
6
|
7
|
8
|
9
|
>9
|
t
|
6.31
|
2.92
|
2.35
|
2.13
|
2.02
|
1.94
|
1.90
|
1.86
|
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