

|
空气洁净度等级(N)
|
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
|
|||||
|
0.1 um
|
0.2 um
|
0.3 um
|
0.5um
|
1um
|
5 um
|
|
|
ISO Class 1
|
10
|
2
|
|
|
|
|
|
ISO Class 2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
|
ISO Class 3
|
1 000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
ISO Class 4
|
10 000
|
2 370
|
1 020
|
352
|
83
|
|
|
ISO Class 5
|
100 000
|
23 700
|
10 200
|
3 520
|
832
|
29
|
|
ISO Class 6
|
1 000 000
|
237 000
|
102 000
|
35 200
|
8 320
|
293
|
|
ISO Class 7
|
|
352 000
|
83 200
|
2 930
|
||
|
ISO Class 8
|
|
3 520 000
|
832 000
|
29 300
|
||
|
ISO Class 9
|
|
35 200 000
|
8 320 000
|
293 000
|
||
|
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。
|
||||||
|
粒径、数值洁净度级别
|
尘埃最大允许数/立方米
|
微生物最大允许数
|
||
|
≥0.5um
|
≥5um
|
浮游菌/立方米
|
沉降菌/皿
|
|
|
100 级
|
3,500
|
0
|
5
|
1
|
|
10,000 级
|
350,000
|
2,000
|
100
|
3
|
|
100,000 级
|
3,500,000
|
20,000
|
500
|
10
|
|
300,000 级
|
10,500,000
|
60,000
|
—
|
15
|
|
空气洁净度等级(N)
|
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
|
||||
|
0.3um
|
0.5um
|
5um
|
10um
|
25 um
|
|
|
C
|
100
|
35
|
0
|
|
|
|
D
|
1000
|
350
|
0
|
||
|
E
|
10000
|
3500
|
0
|
||
|
F
|
|
3500
|
0
|
||
|
G
|
100000
|
35000
|
200
|
0
|
|
|
H
|
|
35000
|
200
|
0
|
|
|
J
|
|
350000
|
2000
|
450
|
0
|
|
K
|
|
3500000
|
20000
|
4500
|
500
|
|
L
|
|
|
200000
|
45000
|
5000
|
|
M
|
|
450000
|
50000
|
||
|
美国联邦
|
美国联邦
|
英国标准
|
澳大利亚标准
|
法国标准
|
德国标准
|
国际标准
|
日本标准
|
|
标准 209D
|
标准 209E
|
BS5295
|
AS1386
|
AFNORX44101
|
VDI2083
|
14644-1
|
JACA24
|
|
|
|
|
|
|
|
1
|
1
|
|
|
|
|
|
—
|
0
|
2
|
2
|
|
1
|
M1.5
|
C
|
0.035
|
—
|
1
|
3
|
3
|
|
10
|
M2.5
|
D
|
0.35
|
—
|
2
|
4
|
4
|
|
100
|
M3.5
|
E
|
3.5
|
4000
|
3
|
5
|
5
|
|
1000
|
M4.5
|
G
|
35
|
—
|
4
|
6
|
6
|
|
10000
|
M5.5
|
J
|
350
|
400000
|
5
|
7
|
7
|
|
100000
|
M6.5
|
K
|
3500
|
4000000
|
6
|
8
|
8
|
|
|
|
M
|
|
|
7
|
9
|
—
|
|
洁净度等级
|
尘粒最大允许数/pc.m3
|
换气次数/h
|
气流流型
|
|
|
≥0.5μm
|
≥5μm
|
|||
|
100 000
|
3 500 000
|
20 000
|
10~15
|
非单向流
|


|
设施部件名称
|
规格型号
|
要求
|
|
空调机组
|
LFD55W
|
密封、无漏气,符合设计安装要求
|
|
送风、回风接口
|
——
|
密封、无漏气
|
|
风管
|
镀锌钢板
|
符合设计安装要求,密封、无漏气
|
|
排风口
|
镀锌铁皮
|
与顶棚密封合格
|
|
初效过滤器
|
无纺布
|
洁净、无破损
|
|
中效过滤器
|
无纺布
|
洁净、无破损
|
|
高效过滤器
|
玻璃纤维纸
|
符合安装要求,洁净、无破损
|
|
项目
|
要求
|
检测方法
|
||
|
温度调整
|
18~28℃
|
GB 50591
|
||
|
湿度调整
|
45~65%
|
|||
|
静压差
|
与非洁净区之间≥10Pa
|
|||
|
调整换气次数
|
≥15次/小时
|
|||
|
风速(百级洁净台)
|
水平层流≥0.4m/s
|
|||
|
尘埃数
|
≥0.5μm
|
≤3,500,000个/m3
≤3500个/m3(百级洁净台)
|
GB/T 16292
|
|
|
≥5μm
|
≤20,000个/m3
0(百级洁净台)
|
|||
|
检测项目
|
标准
|
检测方法
|
|
|
温度
|
18~28℃
|
GB 50591
|
|
|
湿度
|
45~65%
|
||
|
换气次数
|
≥15次/小时
|
||
|
风速(百级洁净台)
|
水平层流≥0.4m/s
|
||
|
静压差
|
与非洁净区之间≥10Pa
|
||
|
尘埃数
|
≥0.5μm
|
≤3,500,000个/m3
≤3500个/m3(百级洁净台)
|
GB/T 16292
|
|
≥5μm
|
≤20,000个/m3
0(百级洁净台)
|
||
|
沉降菌数
|
≤10个/皿(十万级)
≤1个/皿(百级洁净台)
|
GB/T16294
|
|
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